Karatteristiċi tal-prodott
Jappoġġaw verżjonijiet multipli (PLC/PC) u diversi protokolli ta 'komunikazzjoni mainstream;
Disinn u produzzjoni mwettqa skont l-istandard tal-produzzjoni tas-sigurtà SEMI;
Kapaċità għolja tad-disinn tal-kanal, UPH400 ~ 550pcs;
Adattat għal dimensjonijiet multipli ta 'prodotti u rivisti;
Disinn bi privattiva fil-livell tal-wejfer MFC, li jipprevjeni t-tnixxija tal-gass milli tikkawża inċidenti ta' sikurezza (jappoġġja gassijiet ta'-riskju għoli bħall-idroġenu);
Disinn privattiva ta 'kamra tas-siġillar għolja, sa 5pa;
Angolu ta 'kuntatt mal-ilma<10° (related to the material of product surface);
Disinn ta 'erba' kanali għall-ipproċessar simultanju ta '4 prodotti, b'elettrodi tal-qiegħ doppju, inaqqas il-ħin għad-dħul u l-ħruġ tal-bord, itejjeb b'mod sinifikanti l-effiċjenza, u jiżgura l-uniformità tal-prodott fl-ipproċessar.
speċifikazzjonijiet tekniċi
|
Konfigurazzjoni Funzjonali |
Parametri Tekniċi |
|
|
L×W×H (mm) |
L1600×W1150×H1700 |
|
|
Tagħmir |
Piż nett (kg) |
1000 |
|
Spazju periferali (mm) |
600 fuq wara, 600 fuq iż-żewġ naħat |
|
|
Awla |
Volum (L) |
Madwar 9 |
|
Kanal (nri) |
4 |
|
|
Elettrodu tal-qiegħ (pcs.) |
2 (funzjoni ta' tranżizzjoni) |
|
|
Mod ta 'tmigħ |
Magazine |
|
|
Dimensjoni tal-prodott adattivi (mm) |
Wisa ': 40-100 Tul: 150-300 |
|
|
Elettrodu |
Dimensjoni tal-elettrodu (mm) |
528×300 |
|
Provvista ta 'enerġija RF |
Qawwa standard (kW) |
1 |
|
Frekwenza (MHZ) |
13.56 |
|
|
Kontroll tal-gass |
Sa tliet kanali |
2 kanali (standard), 3 kanali (mhux obbligatorju) |
|
Sistema ta 'kontroll |
Interface tal-bniedem-magna |
PC + touch screen |
|
Interfaċċja remota |
Komunikazzjoni |
Fakultattiv |
|
Pompa tal-vakwu |
Pompa niexfa fakultattiva |
17CFM |
|
Pompa taż-żejt mhux obbligatorja |
195CFM |
|
|
Pompa niexfa mhux obbligatorja b'funzjoni ta 'tindif |
IVA |
|
|
Rata tal-fluss tat-tisfija tan-nitroġenu (SLM) |
2 |
|
|
Ħin tal-vakwu (I) |
10月15日 |
|
|
Ħin ta' tkissir tal-vakwu (I) |
3-4 |
|
|
Faċilitajiet tal-fabbrika |
Provvista ta 'enerġija |
Tliet -fażijiet 380V50/60Hz 4.5kW (pompa taż-żejt) |
|
Dimensjoni u tip ta 'proċess |
1/4inch Swagelok |
|
|
Purità tal-gass tal-proċess |
Grad industrijali u ogħla |
|
|
Pressjoni tal-gass tal-proċess (psig) |
10-20 |
|
|
Dimensjoni u tip ta 'pipeline tal-gass tat-tindif |
1/4inch Swagelok |
|
|
Purità tal-gass tat-tindif |
Grad industrijali u ogħla |
|
|
Pressjoni tal-gass tat-tindif (psig) |
15 |
|
|
Dimensjoni u tip ta 'pnewmatiku |
10mm push-fil-twaħħil |
|
|
Purità tal-gass pnewmatiku |
Arja kkompressata, żejt-ħieles, punt tan-nida Inqas minn jew ugwali għal 7 gradi, partiċelli<5 |
|
|
Pressjoni tal-gass pnewmatiku (psig) |
70-90 |
|
|
Arja kkompressata (mm) |
∅8 |
|
|
Konformità |
Ċertifikazzjoni |
SEMI |
|
Tagħmir anċillari |
Ġeneratur tan-nitroġenu (mhux obbligatorju) |
Fakultattiv għat-tindif tan-nitroġenu |
|
Tagħmir li jkessaħ l-ilma (mhux obbligatorju) |
Fakultattiv għat-tkessiħ tal-elettrodi |
|
|
Kit tal-idroġenu (mhux obbligatorju) |
Fakultattiv għat-trattament tal-idroġenu |
|
|
Proċessur tal-gass tal-egżost (mhux obbligatorju) |
Fakultattiv għat-trattament tal-egżost tal-fluworin |
|
|
Trasport |
Piż totali (kg) |
1050 |
|
Numru ta' pakketti |
1 |
|
|
Ippakkjar skond l-istandard SPM15 |
IVA |
|
It-tags Popolari: VP-10S Sistema Awtomatika ta' Trattament tal-Plasma bil-Vakwu,Sistema Awtomatika tat-Trattament tal-Plasma bil-Vakwu VP-10S